Адгезионная способность пленок

М.: Радио и связь., 1987. - 104 с.
Рассматривается адгезионная способность пленок, физико-механическое и физико-химическое взаимодействие иа границе пленка-подложка, виды границ между пленкой и подложкой. Приводятся методы измерения адгезионной прочности: нормального отрыва, скрайбирования, отслаивания и др. Описывается технология нанесения пленок: термическое испарение в вакууме, катодное и магнетронное распыление, ионно-плазменный метод, лазерное и электронно-лучевое напыление. Предназначена для инженерно-технических работников, занимающихся разработкой процессов нанесения пленок.